流量測(cè)量技術之 微小流量(liàng) 的測量(liàng)     
半導體(ti)制造業、生物(wù)工程、精細化(huà)工等的興起(qi)，使流量測量(liang)🌈向低端延伸(shēn)，小流量計流(liú)量的要求在(zài)上世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來。何謂(wei)小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限(xian)，小流量因應(yīng)用領域而異(yì)是一個模糊(hú)🏃的概念。管道(dao)小流量測量(liàng)體現于管徑(jing)小和流速低(dī)兩個層次，就(jiù)流程工業而(ér)言，習慣上 DN10 甚至 DN15 以下管徑流(liú)量測量稱之(zhi)小流量測量(liàng)，通常其流量(liang)值液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yi)下，流量儀表(biǎo)滿度流量時(shi)的流速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測(cè)量方法
傳統小流量(liang)測量技術節(jiē)流差壓 ( 層流 ) 法(fa)、浮子法和容(róng)積法等有了(le)的改進，新測(cè)量技術如超(chāo)聲法、熱法🌈、科(ke)裏奧利法等(deng)也有成效地(dì)應于液體和(hé)氣體小流量(liàng)💃測量。
2 、特(te)點
微小(xiǎo)流量與一般(ban)流量測量相(xiàng)比較，具有以(yi)下特點。
1) 雷諾數低
一般管道(dao)流動均爲紊(wěn)流流動，流量(liang)儀表也是針(zhēn)對紊流流動(dong)态設計的，而(ér)小流量儀表(biao)因管徑小常(chang)處于層流流(liu)動 ( 例如(ru)管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或(huo)層流 / 紊(wěn)流過渡區流(liú)态流動，小流(liú)量測量受使(shǐ)用中流體黏(nián)度變化影☀️響(xiǎng)頗大。
2) 要(yào)用實際使用(yong)流體校準
液體流量(liang)儀表一般用(yong)水校準，氣體(ti)用空氣校準(zhǔn)。若知道實際(ji)測量流體與(yu)校準流體間(jiān)某些物性不(bú)同對示值有(you)規律📐變化時(shí)，中大管徑流(liú)量儀表常以(yi)适當系數修(xiū)正。但有些小(xiǎo)流量儀⛱️表受(shou)黏度等流體(ti)物性影響大(da)，須以實際使(shi)用流體🤞校準(zhun)。所幸流量小(xiao)，用實際使用(yong)流體校準難(nan)度不大，但在(zài)作有害性流(liu)體校準時應(ying)注意安全和(he)環境污染。
3) 要求測量(liàng)時防止污染(rǎn)流體
若(ruo)測量潔淨氣(qi)體和純水常(cháng)不允許接觸(chù)流體的儀表(biǎo)零件材料析(xi)出離子，例如(ru)半導體制備(bei)中儀表不能(neng)用🐇金屬和玻(bo)璃制成，隻能(néng)用塑料。流體(tǐ)中也不允許(xu)混入活動件(jian)的磨蝕塵粒(lì)。流量儀表流(liú)通通道要盡(jìn)可能簡單，不(bú)應有潴留 ( 指液體在(zài)體内不正常(chang)地聚集停留(liu) ) 部位，防(fáng)止潴留介質(zhi)變質。
4) 氣(qì)泡和塵埃附(fù)着的影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加，液(ye)體中微細氣(qì)泡易在管系(xì)流🚩動過程中(zhōng)積聚變大，使(shǐ)測量時指示(shi)不穩，度下降(jiàng)。流體中塵埃(āi)🐅附着測量元(yuán)件也要影響(xiǎng)測量值，例如(ru)浮子流量🌍計(ji)的浮子上沉(chén)🛀🏻積有肉眼覺(jiào)察不出的附(fù)着層也會影(yǐng)響示值。
5) 流量儀表品(pǐn)種使用上受(shòu)到一定限制(zhi)
在衆多(duō)測量原理流(liú)量儀表中，因(yīn)各種原因小(xiǎo)流量💰應用受(shòu)到一些限制(zhì)，當前能應用(yong)于小流量的(de)品種如表格(gé)所示